| 大氣壓 | 70~106Kpa | 
|---|---|
| 工作臺面中心振動靜位移μm(rms) | 4.1 | 
| 主過濾器類別 | ULPA | 
| 人員保護 | 2.1*100000 | 
| 主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm | 
| 下降氣流速度(m/s) | 0.28 | 
| 流入氣流速度(m/s) | 0.55 | 
| 外排風(fēng)量(m3/h) | 440 | 
| 頻率 | 50Hz±1Hz | 
|---|
| 工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 | 
|---|---|
| 重量(Kg) | 258 | 
| 腳輪 | 有 | 
| 柜內(nèi)插座配置(防濺插座個數(shù)) | 1個防濺插座 | 
| 固定底腳 | 可調(diào)高度75mm,無裸露螺紋 | 
| 過濾器阻塞報警 | 有 | 
|---|---|
| 過濾器破損報警 | 有 | 
| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |